一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置
授权
摘要
本实用新型公开一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置，包括封闭的酸洗空间、与酸洗空间通过输送管道相连通的储酸罐、通过回收管道与酸洗空间相连通的回收箱以及穿过酸洗空间的传送轨道，传送轨道上设有用于放置电子元器件的载舟并且传送轨道连接有驱动载舟在传送轨道上运动的驱动装置，酸洗空间内设有喷淋头和滤网，喷淋头与输送管道相连通，滤网位于传送轨道的下方，回收箱通过回收循环管道连通至储酸罐。本实用新型在酸洗去除碳化硅电子元器件金属表面的氧化物薄膜的同时重复循环利用酸液。
基本信息
专利标题 ：
一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921715690.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-14
授权号 ：
CN210933961U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
赵俊男王丽丽
申请人 ：
济南鲁晶半导体有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市市辖区高新区天辰大街978号中试车间楼301-15室
代理机构 ：
济南泉城专利商标事务所
代理人 ：
赵玉凤
优先权 ：
CN201921715690.3
主分类号 ：
B01D29/01
IPC分类号 ：
B01D29/01 B01D29/52 B01D29/92
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D29/00
不包括在组B01D24/00至B01D27/00中的过滤期间过滤元件不动的过滤器，例如压滤器或吸滤器；其过滤元件
B01D29/01
带有平的过滤元件
法律状态
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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