一种铜抛光过程表面冷却装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种铜抛光过程表面冷却装置,其结构包括抛光盘、控制器、连接箱、检修门、电机、支撑板、电动推杆、鼓风机、收集框、制冷装置和电源线,为解决树脂铜盘或树脂铁盘旋转打磨过程中易发热膨胀,致使加工件打磨精度差的问题,通过在机体底部内侧设置制冷装置,将壳体嵌入机体底部内侧,接着按压控制器分别启动风机和半导体制冷片,风机经内侧电机带动扇叶转动制造离心力抽取外界气体,气体流经半导体制冷片形成冷空气,冷空气流入牵引斗中,分流管与转化头配合便于冷空气分别经分流管输送至冷基座内侧对透明框内侧进行降解,达到树脂铜盘或树脂铁盘进行及时降温,提高加工件打磨精度的有益效果。

基本信息
专利标题 :
一种铜抛光过程表面冷却装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921719611.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-11
授权号 :
CN210849700U
授权日 :
2020-06-26
发明人 :
王永成
申请人 :
上海致领半导体科技发展有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区创业路369弄1-68号20幢3层301室
代理机构 :
上海互顺专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
韦志刚
优先权 :
CN201921719611.6
主分类号 :
B24B29/02
IPC分类号 :
B24B29/02  B24B27/00  B24B55/02  B24B55/06  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2020-06-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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