本实用新型公开了一种低温等离子有机废气净化装置，包括预处理罐；所述预处理罐的顶端设置有进气口，所述进气口连通有进气管；所述进气口的下方设置有若干层活性炭吸附层，活性炭吸附层的下方安装有喷淋管，所述喷淋管连通有喷淋液池，且喷淋液池的内部安装有输料泵；所述喷淋管远离活性炭吸附层的一面上安装有雾化喷头组，所述雾化喷头组的下方设置有沉降室，沉降室的上方设置有过滤网；所述沉降室和过滤网之间的预处理罐上设置有排气口，所述排气口通过排气管连通有除湿罐的输入端；所述除湿罐的输出端通过输气管连通有等离子体反应器。本实用新型通过预处理罐对有机废气进行了初步的预处理工作，进一步提高了有机废气的净化效率和质量。