本实用新型公开了一种回收分子筛吸附的特种气体的装置，包括第一气体输送管路、第二气体输送管路和冷凝器；所述第一气体输送管路用于向吸附有特种气体的分子筛吸附柱的内部吹送非杂质气体，以使分子筛上的特种气体解吸出来；所述第二气体输送管路用于将从所述分子筛吸附柱解吸出来的混合气体输送至所述冷凝器中；所述冷凝器用于对所述混合气体中的特种气体进行冷凝，使特种气体与非杂质气体分离；所述特种气体为砷烷、磷烷或锗烷。本实用新型采用氢气或氦气为非杂质气体，常温下使分子筛上的特种气体脱附，进而冷凝回收，使其与非杂质气体分离，回收成本低，容易操作，环保，回收率高，弥补了行业的技术缺陷，降低了特种气体的提纯成本。