本实用新型公开了一种光刻胶生产过程中溶剂回收装置，包括高罐和固定板，所述高罐的右端安装有固定板，所述固定板的上端外壁上设置有抽水泵，所述抽水泵的上端设置有上层液体输送管，所述上层液体输送管的另一端设置在高罐的上端内部，所述抽水泵的前端外壁上设置有向右延伸的连接管，所述高罐的右侧设置有中罐，所述中罐的内部设置有滚筒，所述连接管的另一端设置在滚筒的上端内部，通过设计一种溶剂回收装置利用三个大小不同的罐体分别对溶剂进行沉淀、过滤和收集，使得溶剂在回收时杂质基本被过滤干净，使得溶剂整体的回收利用率大幅提升，而且自动性比较高过滤途中并不需要人为操作，使得光刻胶生产过程中的溶剂回收变得更加高效便捷。