一种气体汇总分流器
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摘要
一种气体汇总分流器，包括呈圆管状的法兰管和螺旋扰流器，所述法兰管的两端管口分别连接有进气法兰和出气法兰，所述进气法兰上设有一个进气孔，所述进气孔连接有进气管，所述出气法兰上设置有多个相同孔径的出气孔，每个所述出气孔均连接有出气管；所述螺旋扰流器的螺旋盘以所述法兰管的轴线为中心设置于所述法兰管的内腔中，所述螺旋扰流器的螺旋片面布设有若干贯穿的孔洞。本实用新型的气体汇总分流器采用螺旋扰流器可使通入的各种气体充分混合，尾部的出气侧，且可根据需要设置多个相同尺寸的出气孔，使得出气均匀，从而满足了单管给多个分立式夹具进行均匀供气的需求。
基本信息
专利标题 ：
一种气体汇总分流器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921752751.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-17
授权号 ：
CN210856330U
授权日 ：
2020-06-26
发明人 ：
姚群刘亮刘海
申请人 ：
深圳市辰翔新能源技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区兰竹东路13号609-610区域（东城大厦）
代理机构 ：
深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄立强
优先权 ：
CN201921752751.3
主分类号 ：
C23C16/455
IPC分类号 ：
C23C16/455 C23C16/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2020-06-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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