一种硅片倒角工艺中直径扫描仪位置调整固定装置，涉及半导体硅片生产技术领域，包括直角形的定位件和经过标准件校准并标记有校准尺寸的刻度板，所述刻度板上对应于每个校准尺寸的正上方开设有定位孔，定位件的水平段上穿设有与定位孔配合固定的固定销，定位件的垂直段固定于直径扫描仪的底部。本实用新型有益效果：本实用新型结构简单，设置合理，利用该装置可以精确、直观、有效且简单的调整直径扫描仪固定位置，保证直径扫描仪工作在有效范围内，进而能精确地检测到被测硅片直径数据，且调整方法简单、实用。