一种CVD金刚石材料热电偶装置
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摘要

本实用新型公开了一种CVD金刚石材料热电偶装置,包括探头、导线和绝缘防烫板,所述探头设于绝缘防烫板上,所述导线连接于探头,所述探头包括壳体和测温电极,所述测温电极包括氮掺杂CVD金刚石单晶片、磷掺杂CVD金刚石单晶片、金属贴片电极和磷‑硅半导体薄膜,所述磷掺杂CVD金刚石单晶片上设于壳体内,所述氮掺杂CVD金刚石单晶片设于磷掺杂CVD金刚石单晶片上,所述磷‑硅半导体薄膜设于氮掺杂CVD金刚石单晶片和磷掺杂CVD金刚石单晶片之间。本实用新型属于温度测量技术领域,具体是指一种体积小、动态范围大、精度高、抗噪声的CVD金刚石材料热电偶装置。

基本信息
专利标题 :
一种CVD金刚石材料热电偶装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921798674.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-24
授权号 :
CN210571073U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
王骏赵芬霞蒋荣方刘宏明
申请人 :
湖州中芯半导体科技有限公司
申请人地址 :
浙江省湖州市吴兴区高新区中横港路33号2号厂房5号
代理机构 :
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 :
刘晓明
优先权 :
CN201921798674.5
主分类号 :
G01K7/02
IPC分类号 :
G01K7/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01K
温度测量;热量测量;未列入其他类目的热敏元件
G01K7/02
利用热电元件,例如热电偶
法律状态
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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