一种晶圆铁环放置推车
授权
摘要
本实用新型公开了半导体晶圆领域内的一种晶圆铁环放置推车，包括若干片晶圆铁环，晶圆铁环的外边缘分别设置有前定位面、后定位面、左定位面和右定位面，还包括底板，底板下侧设置有至少四个万向轮，各片晶圆铁环依次堆叠放在摆放架上，各晶圆铁环的外圆周方向间隔设置有至少3根定位立杆，所述底板的左侧、右侧和后侧均设置有立柱，各立柱上端固定连接有U形顶部支架，每根所述立柱上固定连接有定位件，定位件的左侧板和右侧板分别与相应立柱的左侧面、右侧面相对应，定位件中间板与立柱正面相对应，三个定位件中间板的另一侧分别与左定位面、右定位面和后定位面相贴合。本实用新型能够方便地转移晶圆铁环，防止晶圆铁环的位置偏移。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆铁环放置推车
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921805345.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-25
授权号 ：
CN210882238U
授权日 ：
2020-06-30
发明人 ：
徐学飞陈志远聂伟孟强王坤苏杨生
申请人 ：
江苏汇成光电有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区金荣路19号
代理机构 ：
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 ：
王峰
优先权 ：
CN201921805345.9
主分类号 ：
B62B3/04
IPC分类号 ：
B62B3/04 B62B5/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B62
无轨陆用车辆
B62B
手动车辆，例如手推车或摇篮车；雪橇
B62B3/00
有一个以上带运输轮的车轴的手推车；其所用转向装置；所用设备
B62B3/04
包含将所载物锚定或固紧到适当位置的装置；装卸设备
法律状态
2020-06-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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