本实用新型公开了再生气预热装置，属于半导体技术领域。它包括纯化罐，所述纯化罐包括罐体和外壳，所述罐体位于外壳的内部，所述纯化罐的顶部设有进气管。本实用新型先由再生气经过与装有再生气源的储罐相连通的再生进气管接头，进入盘管中，位于外壳内部的盘管一端增加了预热夹块，且预热夹块的一端位于加热器的内部，启动加热器，加热器将热量传递给预热夹块，预热夹块再通过盘管将热量传递给盘管内部的再生气体，保证在进入罐体之前的再生气温度得到提高，直到温度得到提高再生气进入罐体，从而保证再生工艺的稳定进行，最后从再生出气管接头排出。