一种多工位传送装置

授权

摘要

一种多工位传送装置，包括第一传送部分和第二传送部分，第一传送部分和第二传送部分之间设有可调整工位，被配置为能够改变自身位置使被传送物处于不同的工位和/或状态，所述可调整工位包括至少两个工位和/或状态。在一些优选的方式中，可调整工位本身可以提供至少两个工位，在一些优选的方式中，不同状态下的可调整工位能够提供不同的工位；本实用新型提供了一种传送装置，能够提供至少两个工位，例如一个工位用于传送，另一个工位用于和流程中下个环节衔接，这样就能够充分利用工艺流转过程中的空隙时间，使得同一时间段内传送的物料增加，提高传送效率，配合CVD设备的其他环节，有效提升CVD设备的产能。

基本信息

专利标题：

一种多工位传送装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921807045.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-25

授权号：

CN211238193U

授权日：

2020-08-11

发明人：

林佳继刘群庞爱锁朱太荣林依婷

申请人：

深圳市拉普拉斯能源技术有限公司

申请人地址：

广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号

代理机构：

杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

董世博

优先权：

CN201921807045.4

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677 H01L21/673