一种自动清洁的吐胶装置
授权
摘要
本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种自动清洁的吐胶装置，包括：胶瓶，用于存储光刻胶；胶泵，与胶瓶连接，用于将胶瓶中的光刻胶抽出；暂存槽，设置于胶瓶与胶泵之间，用于存储胶泵从胶瓶中抽出且未吐出的光刻胶；吐胶管，是用于吐胶的管道，其一端与胶泵连接，另一端连接有吐胶头；还包括清洁件和可伸缩的振子结构，所述振子结构设置于吐胶管以及吐胶头内，清洁件设置于振子结构的底部，胶泵的泵压能使振子结构伸缩，从而带动清洁件的运动，以实现清洁件对吐胶头内壁的清洁，避免光刻胶残留堵塞，有效降低吐胶阻力，使吐胶顺畅，同时，振子结构能将光刻胶封存于胶管内，避免与外界接触造成污染。
基本信息
专利标题 ：
一种自动清洁的吐胶装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921807127.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-25
授权号 ：
CN211051820U
授权日 ：
2020-07-21
发明人 ：
毕东升徐凯蔡家豪黄照明张家豪
申请人 ：
安徽三安光电有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921807127.9
主分类号 ：
B05C5/02
IPC分类号 ：
B05C5/02 B05B15/50
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2020-07-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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