一种真空插板开关阀的密封结构
授权
摘要
本实用新型公开一种真空插板开关阀的密封结构，包括升降轴、气缸、阀门、密封圈和阀体；升降轴上安装有四个气缸；气缸的活动端安装有阀门；阀门的右端加工有燕尾止口；阀门的右端安装有密封圈，密封圈的密封面为平面型密封面；阀体的左端设有微织构密封面；密封状态时，密封圈的平面型密封面与阀体的微织构密封面相接触；四个气缸均匀分布于阀门的四个角点，且正对于密封圈。本实用新型大幅度提高了真空插板开关阀的密封效果和可靠性，可应用于半导体刻蚀反应腔的密封。
基本信息
专利标题 ：
一种真空插板开关阀的密封结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921808501.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-25
授权号 ：
CN211820960U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
牛建新戴峰泽叶云霞任旭东
申请人 ：
托伦斯精密机械(上海)有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区合庆工业区东胜路308号2幢1楼B区
代理机构 ：
南京正联知识产权代理有限公司
代理人 ：
卢霞
优先权 ：
CN201921808501.7
主分类号 ：
F16K31/12
IPC分类号 ：
F16K31/12 F16K27/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K31/00
操作装置；释放装置
F16K31/12
由流体致动
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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