进气测温装置
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摘要
本实用新型公开了进气测温装置，属于半导体技术领域。它包括纯化罐本体，所述纯化罐本体的底部连通有进气管，所述纯化罐本体侧壁上设有测温管。本实用新型当源气通过进气管进入纯化罐本体内部，经过纯化罐本体纯化后，从出气口排出，当源气指标偏高时，首先带来纯化罐本体与进气管的连通处中心温度升高，此时将测温管伸入纯化罐本体与进气管相连通的连通处中心位置，再在测量管内插入热电偶本体，并且时热电偶本体测量端位于纯化罐本体与进气管的连通处中心，再利用热电偶本体对纯化罐本体与进气管的连通处中心进行温度的测量，当纯化罐本体与进气管的连通处温度升高时，可快速检测到温度变化，再采取一些安全措施，避免造成整个纯化器失效。
基本信息
专利标题 ：
进气测温装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921813343.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-25
授权号 ：
CN210689844U
授权日 ：
2020-06-05
发明人 ：
江晓松
申请人 ：
上海先普气体技术有限公司
申请人地址 ：
上海市闵行区金都路4299号6号楼6224室
代理机构 ：
上海怡恩专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周渭铭
优先权 ：
CN201921813343.4
主分类号 ：
G01K7/02
IPC分类号 ：
G01K7/02 G01K1/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K7/02
利用热电元件，例如热电偶
法律状态
2020-06-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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