本实用新型公开了六氟化硫尾气处理设备技术领域的一种六氟化硫检测仪尾气处理装置，包括六氟化硫检测仪、热解炉、水洗装置、碱洗装置、进液机构、吸附装置、气体分离提纯罐、单向阀、真空泵、减压阀门、回充管路、流量计和储气罐，六氟化硫检测仪的出气端依次连接热解炉、水洗装置和碱洗装置，水洗装置和碱洗装置的进气管均插至液面下端、出气管均插至液面上端、顶端中部均插接有进液机构，碱洗装置的出气端依次接吸附装置、气体分离提纯罐、单向阀、真空泵、减压阀门、回充管路和流量计，流量计另一端与储气罐相接，本实用新型提供了一种六氟化硫检测仪尾气处理装置，对六氟化硫检测仪使用后的尾气进行净化回收，可重新回充入设备循环利用，避免六氟化硫气体及其分解产物排放造成污染。