一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于石墨舟的新型电极结构，包括石墨杆和若干石墨连接块，所述电极结构通过石墨杆可拆卸地插接多个石墨连接块构成，所述石墨杆为圆柱体，所述石墨连接块为长方体，且石墨连接块中贯通开设有空心槽。本实用新型空心槽设计合理，空心结构的石墨连接块，在相同升温时间下提升了电极结构附近温区的温度，从而提升了相邻工位的电池片膜厚，缩小了电池片舟内膜厚均匀性的差异；并且保证了炉口通入的反应气体能直接通过电极结构进入石墨舟内，使得硅片镀膜时整体沉积速率较一致，从而改善舟内整体膜厚均匀性。
基本信息
专利标题 ：
一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921821112.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-28
授权号 ：
CN210296290U
授权日 ：
2020-04-10
发明人 ：
王利娟彭彪陆勇彭春林段少雷顾峰戎丹
申请人 ：
通威太阳能（安徽）有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区长宁大道与习友路交口西南角
代理机构 ：
昆明合众智信知识产权事务所
代理人 ：
韦群
优先权 ：
CN201921821112.8
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/673 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-04-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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