一种实验室无尘退火炉装置

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摘要

一种实验室无尘退火炉装置，包括机架，所述机架上方设置有退火炉炉体，所述退火炉炉体内部为加热空腔，所述加热空腔内部设置有样品承载平台，所述退火炉炉体上设置有空气清洁系统。本装置结构简单，易于制造与安装。充分考虑到退火工艺全过程，设计有两种炉体清洁模式，分别为快速充抽清洁模式和慢速循环清洁模式，快速充抽用于退火工艺前快速清洁炉体，慢速循环用于退火工艺中，保证炉内气体一直保持无尘。循环过程气流速度较慢，且管道外壁包有电阻加热套，能有效保持炉内温度稳定。可有效解决空气中大颗粒灰尘对玻璃质量的影响，减少后端工艺成本。

基本信息

专利标题：

一种实验室无尘退火炉装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921828948.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-29

授权号：

CN211339279U

授权日：

2020-08-25

发明人：

张熊熊谢祯瀛陈招娣洪立昕罗云侠

申请人：

科立视材料科技有限公司

申请人地址：

福建省福州市马尾区开发区儒江西路12号

代理机构：

福州元创专利商标代理有限公司

代理人：

吴志龙

优先权：

CN201921828948.0

主分类号：

C03B25/02

IPC分类号：

C03B25/02