一种指向性MEMS麦克风
授权
摘要
本实用新型公开一种指向性MEMS麦克风，包括第一基板、第二基板、第三基板、壳体以及芯片组件，其中：第一基板与壳体密封连接，形成用于容纳第二基板、第三基板以及芯片组件的腔体；第一基板上设有第一声孔；第二基板贴合设置在第一基板与第三基板之间，第二基板与第一声孔对应的位置上设有多个第二声孔，多个第二声孔排布形成网状结构；第三基板上设有与第一声孔同轴的第三声孔，第三基板远离第二基板的表面上固定有芯片组件。本实用新型提供的指向性MEMS麦克风，结构非常简单且制造成本较低。此外，由于第二声孔还能够对外界异物及水进行有效阻挡，从而对腔体内的电子元器件形成有效保护，提高指向性MEMS麦克风的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种指向性MEMS麦克风
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921844376.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-30
授权号 ：
CN210670558U
授权日 ：
2020-06-02
发明人 ：
唐晓琦金文盛刘伟张彦秀
申请人 ：
北京燕东微电子有限公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区东直门外西八间房万红西街2号
代理机构 ：
北京正理专利代理有限公司
代理人 ：
张磊
优先权 ：
CN201921844376.5
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04
法律状态
2020-06-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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