快速涂布的涂布机结构及其涂布剂的温控及阵列涂布模块
授权
摘要
本实用新型提供一种快速涂布的涂布机结构及其涂布剂的温控及阵列涂布模块，其中快速涂布的涂布机结构包括：晶圆载盘；以及快速涂布模块，设置于晶圆载盘的上方处，其包括：涂布剂温控模块及阵列涂布模块。借由涂布剂温控模块的第一输送管，输送涂布剂，又借由第二输送管，包覆且互不连通的设置于第一输送管的外围，以输送温控介质；又借由阵列涂布模块，以一维阵列涂布嘴，对晶圆载盘上的晶圆片进行涂布剂涂布作业。本实用新型的实施，可以达成对涂布剂进行温控及使涂布剂完成快速涂布的功效。
基本信息
专利标题 ：
快速涂布的涂布机结构及其涂布剂的温控及阵列涂布模块
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921848380.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-30
授权号 ：
CN211359407U
授权日 ：
2020-08-28
发明人 ：
陈茂全廖崇文苏启郎
申请人 ：
聚昌科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹县湖口乡胜利村光复南路16号
代理机构 ：
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
寿宁
优先权 ：
CN201921848380.9
主分类号 ：
B05C5/02
IPC分类号 ：
B05C5/02 B05C11/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2020-08-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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