一种抛光表面检测装置
授权
摘要
本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种抛光表面检测装置，包括基座、转动轴、研磨垫、修整器、抛光头、轴杆，还包括喷淋杆，喷淋杆上通过喷淋转轴转动连接有喷淋头，喷淋杆与喷淋头内设有供研磨液流动的液体通道，液体通道连通有补液通道，补液通道连接有补液箱，补液通道上还设有控制补液通道开闭的转动杆，转动杆上开设有研磨液通过的通孔，转动杆还同轴连接有传动组，传动组的另一端与喷淋转轴同轴连接。为了能够实时补充研磨液，本实用新型将喷淋头的转动与转动杆连动，且转动杆设置通孔，用转动杆的转动改变通孔的方向从而控制研磨液在补液通道的流通和截止。
基本信息
专利标题 ：
一种抛光表面检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921853522.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-30
授权号 ：
CN211332765U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
孙韬
申请人 ：
宁波日晟新材料有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村
代理机构 ：
宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
朱玉泉
优先权 ：
CN201921853522.0
主分类号 ：
B24B49/12
IPC分类号 ：
B24B49/12 B24B37/005 G01B11/06 G01B11/30
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B49/00
用于控制磨具或工件进给运动的测量或校准装置；指示或测量装置的布置，如用于指示磨削加工开始的
B24B49/12
使用光学装置
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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