本实用新型公开了一种电芯烘烤设备，属于电池制造设备技术领域，包括机体、设置于机体内的内腔、用于对内腔进行加热的加热机构、用于对内腔抽真空的抽真空机构以及用于向内腔内输送干燥气的干燥气输送机构，内腔内设置有水含量检测机构、温度检测机构、真空度检测机构以及称重平台，水含量检测机构用于测量内腔内气体中的水含量，称重平台被配置为支撑电芯并测量电芯的初始质量。本实用新型通过水含量检测机构实时测量内腔内气体的水含量，通过称重平台测量电芯的初始质量，通过内腔内气体的水含量与电芯的初始质量的比值小于预设值时，确定电芯烘烤到位，不仅提高电芯水含量的一致性，而且能够提高烘烤产能。