一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备
授权
摘要
本实用新型涉及一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备，设备包括上壳体、柔性受力弹簧、外壳体、振动传递杆下弹簧、隔振器、弹性件、缓冲器，其中隔振器包括振动接收杆、扭转弹簧、振动传递杆、振动传出杆，缓冲器由线圈和磁铁、大力振动传递杆组成，利用缓冲器的磁铁切割磁感线运动起到阻尼缓冲的作用减振，利用隔振器的扭转弹簧和振动传递杆下弹簧作用起到对于轻微振动的高敏感度，响应速度快的阻振效果，效果是，首次采用磁铁‑线圈的增大系统阻尼量的方法，从而到达快速削弱大幅振动，减小晶棒因振动受损的潜在隐患；当振幅变小或者振源频率变低时，隔振器不仅保护内部的结构，还提高隔振的性能。
基本信息
专利标题 ：
一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921870116.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-01
授权号 ：
CN211398403U
授权日 ：
2020-09-01
发明人 ：
李明智韩焕鹏张颖武莫宇李明佳张伟才
申请人 ：
中国电子科技集团公司第四十六研究所
申请人地址 ：
天津市河西区洞庭路26号
代理机构 ：
天津中环专利商标代理有限公司
代理人 ：
胡京生
优先权 ：
CN201921870116.5
主分类号 ：
F16F13/00
IPC分类号 ：
F16F13/00 F16F15/03 F16F15/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16F
弹簧；减震器；减振装置
F16F
弹簧；减震器；减振装置
F16F13/00
包括非液力型弹簧以及减振器，减震器或液力弹簧的装置
法律状态
2020-09-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
