微型过滤器及MEMS传感器组件
授权
摘要
本公开内容的第一方面提供了一种微型过滤器，其包括：承载件(201)，具有形成于其内的、在其厚度方向上贯通的贯通腔(205)；以及滤膜(202)，叠置于承载件(201)上，并且覆盖贯通腔(205)的一个开口。承载件(201)还具有形成于其内的、在其厚度方向上贯通的贯通沟槽(203)，贯通沟槽(203)环绕贯通腔(205)并且与贯通腔(205)没有交集。本公开内容的第二方面还提供了一种MEMS传感器组件。
基本信息
专利标题 ：
微型过滤器及MEMS传感器组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921870566.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-31
授权号 ：
CN211328635U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
林育菁
申请人 ：
歌尔微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
代理机构 ：
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
石伟
优先权 ：
CN201921870566.4
主分类号 ：
B01D46/54
IPC分类号 ：
B01D46/54 B81B7/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/54
采用超细滤片或超滤膜的粒子分离器，如聚尘器
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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