一种炉体密封结构以及PECVD管式炉
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型属于太阳能电池技术领域,公开了一种炉体密封结构以及PECVD管式炉,该炉体密封结构包括炉门、炉体、设置于所述炉门上的第一密封圈,以及设置于所述炉体的炉口上或设置于与所述炉口相连的法兰上的第二密封圈;其中,所述第一密封圈朝向所述炉体的一侧具有第一配合部,所述第二密封圈朝向所述炉门的一侧具有第二配合部,所述第一配合部与所述第二配合部能够在所述炉门闭合时抵接形成环形的贴合面。本实用新型提供的炉体密封结构密封效果好,减少PECVD管式炉的炉体内的反应气体的漏率,保持反应气体的浓度。

基本信息
专利标题 :
一种炉体密封结构以及PECVD管式炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921874057.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-31
授权号 :
CN210856332U
授权日 :
2020-06-26
发明人 :
戴明凯张建峰
申请人 :
盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
申请人地址 :
江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
胡彬
优先权 :
CN201921874057.9
主分类号 :
C23C16/50
IPC分类号 :
C23C16/50  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
法律状态
2021-03-02 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C23C 16/50
变更事项 : 专利权人
变更前 : 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
变更后 : 阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号
变更后 : 224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司
2020-06-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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