质子交换炉
授权
摘要
本实用新型提供了一种质子交换炉，包括炉体、石英容器和送料机构，石英容器设于炉体内，送料机构包括石英提竿和晶圆夹具，晶圆夹具固定于石英提竿的底部，晶圆夹具上装载有晶圆片，晶圆片浸入质子交换反应溶液中，炉体包括从内至外依次设置的内壁、加热丝、炉衬和外皮，内壁的顶端向外延伸形成保温凸台，加热丝蛇形盘绕于内壁的外周面上，炉体的顶部和底部分别设有保温单元。本实用新型对整个质子交换环境进行加热，提升了炉体在水平方向和竖直方向上的温度一致性，确保了整个质子交换溶液的温度一致性，可以有效地提升质子交换工艺的良品率和生产效率。
基本信息
专利标题 ：
质子交换炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921892806.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-05
授权号 ：
CN210826447U
授权日 ：
2020-06-23
发明人 ：
李艳敏
申请人 ：
天津市维之丰科技有限公司
申请人地址 ：
天津市北辰区青光镇清光村福广路1号
代理机构 ：
天津滨海科纬知识产权代理有限公司
代理人 ：
戴文仪
优先权 ：
CN201921892806.0
主分类号 ：
C30B31/04
IPC分类号 ：
C30B31/04 C30B29/30
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置
C30B31/04
同液态扩散材料接触的
法律状态
2020-06-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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