微粒检测模块
授权
摘要
一种微粒检测模块，包含：一基座、一压电致动器、一激光组件、一微粒传感器及一外盖，于基座将导气组件承载区及激光设置区间隔，再辅以气体流道设计，最后由驱动电路板封盖于基座底面、外盖封盖基座表面，进而使基座的一进气沟槽定义出一进气路径，以及使基座的一出气沟槽定义一出气路径，可大幅降低微粒检测模块的厚度。
基本信息
专利标题 ：
微粒检测模块
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921913972.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-07
授权号 ：
CN211576880U
授权日 ：
2020-09-25
发明人 ：
莫皓然林景松吴锦铨陈智凯韩永隆黄启峰蔡长谚
申请人 ：
研能科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
喻学兵
优先权 ：
CN201921913972.4
主分类号 ：
G01N15/06
IPC分类号 ：
G01N15/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N15/00
测试颗粒的特性；测试多孔材料的渗透性，孔隙体积或者孔隙表面积
G01N15/06
测试悬浮颗粒的浓度
法律状态
2020-09-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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