悬吊式储存匣置放设备及其可携式电控箱
授权
摘要
本实用新型公开一种悬吊式储存匣置放设备及其可携式电控箱,所述可携式电控箱,用来设置于悬吊在天花板且能承接晶圆盒的一承载框架。所述可携式电控箱包含一箱体、多个监控组件、以及多个连通管路。所述箱体用来可拆解地固定于所述承载框架;所述多个监控组件设置于所述箱体内;所述多个连通管路相连于至少一个所述监控组件。其中,多条所述连通管路皆至少局部穿出所述箱体、以用来可拆解地连接于设置在所述承载框架的多条气流管路。据此,在可携式电控箱需要进行检修时,可以直接将待检修的可携式电控箱拆离进行检修,并安装另一个无需检修的可携式电控箱,以提升检修的便利性,并且避免影响到悬吊式储存匣置放设备的运作。
基本信息
专利标题 :
悬吊式储存匣置放设备及其可携式电控箱
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921919900.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-08
授权号 :
CN211473030U
授权日 :
2020-09-11
发明人 :
古伊钧林祺浩李旻哲
申请人 :
华景电通股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾苗栗县
代理机构 :
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 :
许静
优先权 :
CN201921919900.0
主分类号 :
E04B9/00
IPC分类号 :
E04B9/00
IPC结构图谱
E
E部——固定建筑物
E04
建筑物
E04B
一般建筑物构造;墙,例如,间壁墙;屋顶;楼板;顶棚;建筑物的隔绝或其他防护
E04B9/00
顶棚;顶棚的构造,例如,活动顶棚;有关隔绝的顶棚构造
法律状态
2020-09-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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