一种多功能硅产品酸洗装置

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摘要

本实用新型公开了一种多功能硅产品酸洗装置，包括机台，所述机台内开设有清洗口，所述清洗口的侧壁上安装有机械手臂，所述机械手臂上设有洗料框，所述清洗口底壁上设有清洗槽，所述清洗槽上方设有洗料框，所述主料框包括两块相互平行的挡板和四个支撑管，四个所述支撑管分别连接两块挡板的四角，形成笼式框架，两个所述挡板之间设有支撑板，所述支撑板中部开设有安装口，所述安装口的侧壁上开设有用于卡接小料筐的安装槽。本实用新型中，将现有硅芯酸洗设备通过承载栏的重新设计，能满足5mm‑150mm硅块酸洗要求，同时具备硅芯、硅桥、籽晶、基料的连续酸洗功能的设备，从而降低单一酸洗硅芯时的酸耗和成本。

基本信息

专利标题：

一种多功能硅产品酸洗装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921943837.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-12

授权号：

CN211538770U

授权日：

2020-09-22

发明人：

刘刚刘虎郭民高鹏陈叮琳薛心禄魏强安生虎李生全海燕安成平杜斌功东占明

申请人：

青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限公司

申请人地址：

青海省西宁市西宁经济技术开发区二期

代理机构：

上海精晟知识产权代理有限公司

代理人：

安曼

优先权：

CN201921943837.4

主分类号：

B08B3/08

IPC分类号：

B08B3/08 B08B3/10 B08B13/00 H01L21/67