多工位自动晶圆检查机
授权
摘要
本实用新型涉及一种多工位自动晶圆检查机，包括工作架、显示器、工作面板、相机、治具、XY移动平台、工作站以及电控箱，所述工作架为上、下两层的矩形架体，所述工作架的下层架体上放置有工作站和电控箱，所述工作架的上层架体的工作面板上表面中部安装有XY移动平台，所述XY移动平台上同轴安装可放置有被测晶圆件的治具，所述相机通过可调节安装架设置在治具上表面中部正上方，所述相机与工作站无线相连，所述工作架顶端还安装有显示器，所述显示器与工作站相连。本实用新型结构合理，便于操作，功能性强，稳定性好，拍摄晶圆全面且检查精准，而且大大降低了检查机的成本。
基本信息
专利标题 ：
多工位自动晶圆检查机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921944198.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-12
授权号 ：
CN211235590U
授权日 ：
2020-08-11
发明人 ：
张伟李瑞贤丁忠健郝子龙
申请人 ：
天津宜控工业智能装备有限公司
申请人地址 ：
天津市津南区双港镇双港总部经济产业园（联）116-19
代理机构 ：
天津盛理知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵瑶瑶
优先权 ：
CN201921944198.3
主分类号 ：
G01N21/95
IPC分类号 ：
G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2020-08-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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