钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备，属于半导体真空设备安装治具技术领域，为解决现有阀体安装精度差等问题而设计。本实用新型钟摆阀定位治具组件包括定位刻度盘，定位刻度盘上设置有多个同心设置的定位圆环和位于定位圆环中心处的中心点标识部，任意相邻两个定位圆环之间的间距相等。本实用新型钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备能通过定位刻度盘的中心与阀体的中心是否对准来判断安装是否合格，若定位刻度盘的中心与阀体的中心未对准则说明钟摆阀的安装出现了偏差、需要进行调整，通过调整使得钟摆阀安装准确，避免因为操作人员的经验差异导致钟摆阀安装出现偏差的情况。
基本信息
专利标题 ：
钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921945204.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-12
授权号 ：
CN211759736U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
张响龚新郑分成林金龙
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN201921945204.7
主分类号 ：
B23P19/10
IPC分类号 ：
B23P19/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23P
未包含在其他位置的金属加工；组合加工；万能机床
B23P19/00
用于把金属零件或制品或金属零件与非金属零件的简单装配或拆卸的机械，不论是否有变形；其所用的但不包含在其他小类的工具或设备
B23P19/10
校正需装配的零件
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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