本实用新型属于阀技术领域，提出了一种脱附系统用真空单向阀，包括阀体，阀体内设有阀腔，阀体上的相对位置分别开有进气孔和出气孔，进气孔和出气孔均与阀腔连通；阀芯，阀芯滑动设置在阀腔内，可以封闭进气孔；支撑板，支撑板设置在阀腔与出气孔的连通面，支撑板为若干个，沿出气孔的周线均匀布置，支撑板用于单向阀通气时顶住阀芯；限位板，限位板设置在阀腔内，限位板为若干个，相邻两个限位板间的空隙构成气体通道，由若干限位板内侧构成滑动轨道；阀杆，阀杆与阀芯连接，阀杆穿过由限位板构成的滑动轨道，并在其内滑动。通过上述技术方案，解决了现有技术中单向阀阀芯不能稳定运动，易发生偏移的问题。