本实用新型提供一种球氦回收工艺装置，涉及化工技术领域。该球氦回收工艺装置，包括氦气空瓶组，所述氦气空瓶组的输出端固定连通有输送管，输送管的内部依次连接有调压装置和稳压装置，输送管的输出端固定连通有氦气缓冲罐，氦气缓冲罐的输出端与氦气压缩机的输入端固定连通，氦气压缩机的输出端固定连通有球氦充装排。该球氦回收工艺装置，通过设置调压装置、稳压装置、氦气缓冲罐和氦气压缩机，将氦气缓冲罐、氦气压缩机、调压装置和稳压装置，对氦气进行调压、稳压、缓冲和压缩，具备运行压力低、安全性高的优点，有效的降低了氦气的生产成本，解决了传统的氦气回收气瓶大多存在瓶压力太低，流量不稳定和安全操作复杂的问题。