一种用于光刻机的气浮导轨

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摘要

本实用新型涉及光刻机领域，具体的说是一种用于光刻机的气浮导轨。包括导柱、轴承壳体以及气浮轴承；在轴承壳体的筒壁上对称开设有沿轴承壳体的长度方向分布的第一气道和第二气道，第一气道与开设在轴承壳体外壁上的进气孔直接连通，第二气道通过开设在轴承壳体筒壁中并呈环形的第三气道与第一气道连通；气浮轴承采用纳米碳纤维材料制作并固定安装在轴承壳体的内沿，在气浮轴承的外沿开设有沿自身长度方向分布的环形槽，环形槽与轴承壳体的内沿配合形成第四气道，在轴承壳体的筒壁上还间隔开设有多个用于连接第四气道和第一气道以及第四气道和第二气道的通气孔。本实用新型可降低光刻机导轨的加工难度和成本，并提高其承载力和精度。

基本信息

专利标题：

一种用于光刻机的气浮导轨

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921979710.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-16

授权号：

CN211145112U

授权日：

2020-07-31

发明人：

王强志魏传波

申请人：

洛阳传顺机械设备有限公司

申请人地址：

河南省洛阳市涧西区延光路火炬园A座521室

代理机构：

洛阳九创知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

炊万庭

优先权：

CN201921979710.8

主分类号：

F16C29/02

IPC分类号：

F16C29/02 F16C32/06