本实用新型涉及一种光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其技术要点是：由依次连通的冷凝分离单元、水喷淋单元、碱液喷淋单元和活性炭吸附过滤单元组成，冷凝分离单元包括与NAS‑5脱水罐顶部出气管线连通的分离罐、设于分离罐内上部的冷凝液循环管路、设于分离罐内下部的热利用循环管路、与分离罐底部连通的积液罐，热利用循环管路与NAS‑5脱水罐外部加热水管连通，积液罐的上部设有与NAS‑5脱水罐顶部出气管线连通的回液管路，回液管路上设有单向阀，分离罐对应热利用循环管路下方的位置设有进气口。本实用新型结构更为合理、使用节能环保，在对有害气体进行有效祛除的同时，充分利用尾气中的热量，并有效减少NAS‑5流失。