一种新型砂轮底座
授权
摘要
本实用新型属于半导体领域，尤其涉及一种新型砂轮底座，包括砂轮座和砂轮齿，所述砂轮齿周向分布在砂轮座表面，其特征在于：相邻所述砂轮齿之间具有凹槽，所述凹槽的开口宽度小于相邻所述砂轮齿之间的距离。本实用新型在相邻砂轮齿之间设置凹槽，从而可以增加研磨进程末期冷却水进入高度，进而避免因冷却水进入不畅导致冷却效果差，以及研磨碎屑排出不畅导致的深刮边暗，从而改善破片及断晶异常。
基本信息
专利标题 ：
一种新型砂轮底座
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921988498.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-18
授权号 ：
CN211053428U
授权日 ：
2020-07-21
发明人 ：
汪其长李俊吴淼赵鑫冯克耀庄士贤蔡家豪张家豪
申请人 ：
安徽三安光电有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921988498.1
主分类号 ：
B24B37/34
IPC分类号 ：
B24B37/34 H01L21/304
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/34
附件
法律状态
2020-07-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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