一种硅电极清洗治具

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型公开了一种硅电极清洗治具，包括悬挂件和环形圆盘，悬挂件上设有挂钩，环形圆盘包括互相配合且可拆连接的两个半环，两个半环左右对称布置，半环上设有支撑架，支撑架上设有与挂钩适配的转轴，两个半环之间设有用于固定硅电极的固定槽。本实用新型提供了一种硅电极清洗治具，可以动态旋转刻蚀，避免传统固定式花篮刻蚀带来的接触色差和刻蚀不均的问题。

基本信息

专利标题：

一种硅电极清洗治具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921994631.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-18

授权号：

CN211471641U

授权日：

2020-09-11

发明人：

马志杰韩颖超李长苏

申请人：

杭州大和热磁电子有限公司

申请人地址：

浙江省杭州市滨江区滨康路668号、777号

代理机构：

杭州杭诚专利事务所有限公司

代理人：

尉伟敏

优先权：

CN201921994631.4

主分类号：

C30B33/10

IPC分类号：

C30B33/10 C30B29/06

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C30

晶体生长

C30B

单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置

C30B33/00

单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理

C30B33/08

侵蚀

C30B33/10

在溶液或熔体内

法律状态

2021-01-01 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : C30B 33/10
登记生效日 : 20201218
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 杭州大和热磁电子有限公司
变更后权利人 : 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 310053 浙江省杭州市滨江区滨康路668号、777号
变更后权利人 : 310053 浙江省杭州市滨江区滨康路668号C幢

2020-09-11 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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