本实用新型公开了一种用于聚酰亚胺薄膜加工的高温退火装置，包括第一退火炉、第二退火炉、电晕机、放卷辊和收卷辊；电晕机设有第一退火炉和第二退火炉之间；放卷辊位于第一退火炉的外端；收卷辊位于第二退火炉的外端；收卷辊上连接有第一电机；第一退火炉和放卷辊之间设有第一导向辊；第一退火炉和电晕机之间设有第二导向辊；第二退火炉和收卷辊之间设有第四导向辊；第二退火炉和电晕机之间设有第三导向辊。与现有技术相比本实用新型的有益效果是：在确保聚酰亚胺薄膜特性的同时，使得经过处理过后的聚酰亚胺薄膜有更小的收缩率；同时要求设备整体运行稳定可靠。