一种组合式真空差分结构
授权
摘要
本实用新型提供一种组合式真空差分结构，其包括波纹管和差分管，所述波纹管的上游端与一双面刀口法兰相连，所述双面刀口法兰的中央处设有通孔，所述差分管设于波纹管的腔体内且一端固定于该双面刀口法兰的通孔处。本实用新型的组合式真空差分结构由于差分管伸入波纹管内部，该结构节省了空间，相当于增加了差分距离，提高了差分比，可以最大限度地利用设备间的有效距离，提高差分效率，进而在有限的空间内完成同步辐射光束线中不同设备间在超高真空环境中的工作压力过渡，结构紧凑，占用空间小；同时可以满足设备相对运动需求，以满足不同模式切换需求。
基本信息
专利标题 ：
一种组合式真空差分结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922001536.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-19
授权号 ：
CN211047357U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
刘俊男王楠陈明祝万钱薛松
申请人 ：
中国科学院上海应用物理研究所
申请人地址 ：
上海市嘉定区嘉罗公路2019号
代理机构 ：
上海智信专利代理有限公司
代理人 ：
邓琪
优先权 ：
CN201922001536.6
主分类号 ：
H05H7/18
IPC分类号 ：
H05H7/18
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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