多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统
授权
摘要
本实用新型提出一种多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统，其包括多个轴向气相沉积反应腔体、多个支线风管、总线风管和PLC控制器，反应腔体与支线风管的数量相同，支线风管的一端连接反应腔体，另一端与总线风管连接；反应腔体内设置腔体压力检测仪；支线风管设置支线自动阀和手动补风阀；总线风管设置风机、缓冲罐、缓冲罐压力检测仪、总线自动阀、总线风管压力检测仪；腔体压力检测仪、支线风管的支线自动阀，以及风机、缓冲罐压力检测仪、总线自动阀、总线风管压力检测仪均与PLC控制器连接，该控制系统能快速智能地调整总线风管的抽风量，有效控制了腔体压力，提高了沉积效率。
基本信息
专利标题 ：
多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922004673.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-19
授权号 ：
CN210891055U
授权日 ：
2020-06-30
发明人 ：
张文俊范修远赵莹莹何斐逸
申请人 ：
赣州讯飞腾传导技术有限公司
申请人地址 ：
江西省赣州市赣州经济技术开发区黄金大道北以西金龙路以北1#厂房
代理机构 ：
南京中盟科创知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
孙丽君
优先权 ：
CN201922004673.5
主分类号 ：
F17D1/02
IPC分类号 ：
F17D1/02 F17D3/01 C03B37/014
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统；管路
F17D
管道系统；管路
F17D1/00
管道系统
F17D1/02
用于气体或蒸气的
法律状态
2020-06-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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