激光开槽的光学系统、激光器及带有激光器的设备

授权

摘要

本发明涉及激光加工技术领域，公开了一种激光开槽的光学系统、激光器及带有激光器的设备，包括，激光器，反射镜组，扩束镜，激光光束整形系统，多光点DOE以及聚焦透镜。激光器发射的激光光束，经过第一45°反射镜组以及扩束镜后，经过矩形可调光阑和椭圆光斑整形系统后，进入多光点DOE，后经第二45°反射镜后，垂直射入聚焦透镜，最后光斑经由聚焦镜聚焦至待加工样品表面。本发明利用Mask+柱透镜系统，将传统的高斯光斑整形成宽度可调的矩形光斑，以提升激光开槽的质量效果；利用多光点DOE的光斑整形功能，将原始矩形光斑分离为多个光斑同时加工，可在大幅度提升开槽效率的同时，进一步提升开槽质量。

基本信息

专利标题：

激光开槽的光学系统、激光器及带有激光器的设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922012050.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-20

授权号：

CN212083832U

授权日：

2020-12-04

发明人：

陈畅柳啸李春昊杨赫杨深明卢建刚尹建刚高云峰

申请人：

大族激光科技产业集团股份有限公司

申请人地址：

广东省深圳市南山区深南大道9988号

代理机构：

深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙)

代理人：

鲍竹

优先权：

CN201922012050.2

主分类号：

G02B27/09

IPC分类号：

G02B27/09 B23K26/064 B23K26/073