处理槽设备
授权
摘要
本实用新型涉及一种处理槽设备，包括：壳体，设置在所述壳体内的至少2个盛放挥发性溶液的处理槽，还包括对所述处理槽对应设置的抽风装置，将待处理件在所述处理槽之间进行移送的机械手，设置在相邻处理槽之间可打开或关闭的隔离装置。由于隔离装置可实现自动开启或者关闭，当机械手往返移动时，可顺利通过隔离装置，从而正常工作。因此，无需在清洗槽内设置动力装置，从而减小清洗槽的体积。
基本信息
专利标题 ：
处理槽设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922015203.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-20
授权号 ：
CN211079411U
授权日 ：
2020-07-24
发明人 ：
左国军谈丽文任金枝
申请人 ：
常州捷佳创精密机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
代理机构 ：
深圳市康弘知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹彦
优先权 ：
CN201922015203.9
主分类号 ：
C30B33/10
IPC分类号 ：
C30B33/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B33/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理
C30B33/08
侵蚀
C30B33/10
在溶液或熔体内
法律状态
2020-07-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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