本实用新型公开了一种半导体器件测试用的叠层母排连接装置，包括功率输入端、第一叠层母排、支撑电容、限流IGBT、第二叠层母排、传感器，所述第一叠层母排的后侧螺栓固定设置有支撑电容，所述第一叠层母排的底部设置有限流IGBT，所述限流IGBT的下端还设置有第二叠层母排，所述第二叠层母排的右侧设置有传感器。叠层母排连接装置包含有两个独立的叠层母排，在第一叠层母排上安装支撑电容，在第一叠层母排与第二叠层母排的连接处安装传感器，并利用第二叠层母排做为输出端子，构成三个功率层，最大程度减小了正、负极性线路之间的回路，有效降低杂散电感。