一种高可靠压力传感器
授权
摘要
本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种高可靠压力传感器，包括芯片，芯片包括背面呈硅杯结构的硅体和玻璃，玻璃的背面开设有凹槽使得玻璃与硅体之间形成有真空腔，真空腔内设置有敏感膜和正面压敏电阻硅体的正面上还设置有焊盘，还包括基板，芯片设置在基板上，基板的背部开设有进气孔，基板上设置有壳体，壳体外塑封有塑件，进气孔穿过塑件与外部空气连通，基板上还设置有引出端子，本实用新型所设计的高可靠性压力传感器能够在恶劣环境下使用，具有高可靠性和高安全性，使用寿命长。
基本信息
专利标题 ：
一种高可靠压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922027412.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-21
授权号 ：
CN210689903U
授权日 ：
2020-06-05
发明人 ：
汪祖民
申请人 ：
龙微科技无锡有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区太湖国际科技园菱湖大道200号中国传感网国际创新园G5栋
代理机构 ：
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
朱晓林
优先权 ：
CN201922027412.5
主分类号 ：
G01L9/06
IPC分类号 ：
G01L9/06 G01L1/18 B81B7/00 B81B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/02
利用改变欧姆电阻值的，例如，使用电位计
G01L9/06
压电电阻器件的
法律状态
2020-06-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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