单晶炉用进料阀门控制装置及系统
授权
摘要
本实用新型实施例提供一种单晶炉用进料阀门控制装置及系统,该装置包括第一控制单元、第二控制单元和进料阀门回路,其中:第一控制单元,用于接收外部控制设备的控制信号,根据控制信号使第二控制单元执行触发动作;第二控制单元,用于在执行触发动作后进入工作状态,使进料阀门回路中的阀门开启或关闭;工作状态包括使阀门开启或使阀门关闭;在外部控制设备停止向第一控制单元输出控制信号时,第二控制单元保持当前的工作状态。通过采用第一控制单元和第二控制单元对进料阀门回路的联合控制,使在外部控制设备停止向第一控制单元输出控制信号时,第二控制单元保持当前对阀门的工作状态,保持设备运行状态。
基本信息
专利标题 :
单晶炉用进料阀门控制装置及系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922065995.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-26
授权号 :
CN210895104U
授权日 :
2020-06-30
发明人 :
黄鸣
申请人 :
北京北方华创真空技术有限公司
申请人地址 :
北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼北门4层
代理机构 :
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 :
王宇杨
优先权 :
CN201922065995.0
主分类号 :
G05B19/05
IPC分类号 :
G05B19/05
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05B
一般的控制或调节系统;这种系统的功能单元;用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B19/00
程序控制系统
G05B19/02
电的
G05B19/04
除数字控制外的程序控制,即顺序控制器或逻辑控制器
G05B19/05
可编程序逻辑控制器,例如根据梯形图或功能图模拟信号的逻辑互联
法律状态
2020-06-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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