本实用新型的第一方面描述了一种生理参数的监测电极，其包括：基底层，第一电极层，第一绝缘层，第二电极层，第二绝缘层，第三电极层，以及第三绝缘层，其中，在基底层的背面，形成有暴露第一电极层的第三窗口。在本实用新型的第一方面中，采用垂直堆叠的三电极结构，且第一电极层和第二电极层分别从基底层的正面方向和背面方向暴露，由此，能够提高第三窗口面积的设计自由度，改善监测电极的灵敏度。另外，通过优化传感部分的面积，能够方便使用者植入监测电极。此外，本实用新型的第二方面描述了一种生理参数的监测电极的制备方法，其能够制备一种具有优化传感部分面积的、易于植入并提高灵敏度的生理参数的监测电极。