本实用新型涉及一种晶圆红外检测测试设备，包括机架和保护罩，机架上安装洁净多轴机器人、晶圆料盒、晶圆自动校正器和支撑架，机架内部安装控制器，支撑架上安装红外测试机和红外光路系统，红外光路系统中部设置晶圆检测位，洁净多轴机器人、晶圆料盒、晶圆自动校正器和支撑架均设置在保护罩内部。本实用新型通过洁净多轴机器人自动搬运晶圆，晶圆自动校正器自动校正晶圆的圆心，红外测试机发出红外光射入红外光路系统，红外光经反光镜照射在晶圆上分别反射和透射后进入上红外测试接收器和下红外测试接收器，并将红外光信号传输至测试机实现晶圆厚度和碳氧含量的自动检测，提高工作效率和检测精度，同时降低人力成本。