一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统,该方案包括有进气口、不锈钢进气管道、测量腔、镜面、制冷机、质量流量控制器MFC、不锈钢出气管道和出气口;镜面设置在测量腔内;镜面通过制冷管路与设置在测量腔外的制冷机连接;不锈钢进气管道一端与进气口连接,另一端与测量腔连通;不锈钢出气管道一端与出气口连接,另一端与测量腔连通;质量流量控制器MFC串联安装在出气管道上。该方案可以避免由于MFC内部容易存水导致内表面材料缓慢释放水分,影响测量速度和精度。同时通过电伴热升温,减少气路管道内壁材料吸附水份的含量,提高露点测量速度。
基本信息
专利标题 :
一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922089971.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-28
授权号 :
CN211043219U
授权日 :
2020-07-17
发明人 :
宋巍巍顾正华盖文刘向波韩杰梁文清张文清顾光武曾星
申请人 :
中国空气动力研究与发展中心设备设计及测试技术研究所;江苏鸿源动力科技有限公司
申请人地址 :
四川省绵阳市涪城区二环路南段6号
代理机构 :
绵阳山之南专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
沈强
优先权 :
CN201922089971.9
主分类号 :
G01N25/68
IPC分类号 :
G01N25/68
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N25/00
应用热方法测试或分析材料
G01N25/56
通过测定水分的含量
G01N25/66
通过测试露点
G01N25/68
通过冷凝表面温度的改变
法律状态
2020-07-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN211043219U.PDF
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