线圈垂直位置可动态调整的蚀刻机结构
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型提供一种线圈垂直位置可动态调整的蚀刻机结构,其包括:第一电浆反应腔体,其具有第一反应腔室;多个第一升降模块,又每一第一升降模块,其具有:第一支撑件,其环绕固设于第一反应腔室的外围;及多个第一升降件,其上、下滑动结合于第一支撑件上;以及第一线圈模块,其固设于第一升降件。借由本实用新型的实施,可以动态的完成反应腔室壁体上,各不同部位沉积物的清理。

基本信息
专利标题 :
线圈垂直位置可动态调整的蚀刻机结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922091224.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-28
授权号 :
CN211295033U
授权日 :
2020-08-18
发明人 :
林志隆蔡兆哲陈俊龙
申请人 :
聚昌科技股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾新竹县湖口乡胜利村光复南路16号
代理机构 :
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人 :
孙磊
优先权 :
CN201922091224.9
主分类号 :
H01J37/32
IPC分类号 :
H01J37/32  H01J37/305  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-06-07 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01J 37/32
登记生效日 : 20220525
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 聚昌科技股份有限公司
变更后权利人 : 汉民科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 新竹县湖口乡胜利村光复南路16号
变更后权利人 : 中国台湾台北市大安区敦化南路2段38号14楼
2020-08-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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