一种晶圆再生装置

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

摘要

本实用新型公开了一种晶圆再生装置，涉及半导体技术领域。本实用新型包括壳体，所述壳体内腔上部对称设置有连接机构，连接机构扣接有晶圆篮，晶圆篮内设置有晶圆，壳体的内腔中部倾斜设置有过滤板一，壳体的内腔下部贯穿设置有转轴，转轴的外壁对称设置有搅动板，搅动板上均匀设置有若干通孔，壳体的内腔下部设置有过滤板二，过滤板二的下方设置有净液室，净液室的一侧设置有抽液管，抽液管的一端设置有抽液泵，抽液泵的顶端设置有出液管，出液管的端部设置有喷头。本实用新型通过连接机构、转轴、搅动板和通孔的配合作用，使得壳体内的液体发生流动，解决了反应过程中，晶圆表面的溶液浓度不断降低，反应速率将逐渐下降的问题。

基本信息

专利标题：

一种晶圆再生装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922104583.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-29

授权号：

CN211635399U

授权日：

2020-10-09

发明人：

辛长林阚总峰刘洪刚赵峰

申请人：

安徽高芯众科半导体有限公司

申请人地址：

安徽省池州市经济技术开发区电子信息产业园21号厂房

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201922104583.3

主分类号：

B01D29/03

IPC分类号：

B01D29/03 B01D29/56 B01F7/04 H01L21/02