一种检测HF气体含量的在线检测仪
授权
摘要
本实用新型涉及的一种检测HF气体含量的在线检测仪，包括：防护罩、测量装置、球阀装置、压力传感器和安装底板；防护罩安装在安装底板上，测量装置内置于防护罩并安装在安装底板上；测量装置包括：测量室、激光发射端、接收端探测器和平面反光镜；测量室设置在安装底板上，激光发射端和接收端探测器均固定安装在安装底板上并设置在测量室的一端，平面反射镜安装在安装底板上并设于测量室的另一端；压力传感器与测量室连接并设于防护罩顶面上，球阀组件与测量室连接。本实用新型通过将检测装置以及激光发射、接收装置内装在防护罩中，并将气阀和传感器设置在防护罩外，其可靠性高，结构简单，方便拆装，并且操作简单，工作效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种检测HF气体含量的在线检测仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922108026.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-29
授权号 ：
CN211697494U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
黄鑫
申请人 ：
阿拓米柯（北京）科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区荣华中路7号院3号楼5层508
代理机构 ：
深圳快马专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵亮
优先权 ：
CN201922108026.9
主分类号 ：
G01N21/39
IPC分类号 ：
G01N21/39
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/25
颜色；光谱性质，即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响
G01N21/31
测试材料在特定元素或分子的特征波长下的相对效应，例如原子吸收光谱术
G01N21/39
利用可调谐的激光器
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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